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至纯科技近期在接受调研时表示，目前湿法设备订单中高阶设备(应用于12晶圆产线的设备，主要以单片为主)占比达6成，预计高阶设备的占比未来将会进一步提升。针对目前这一轮国内客户的资本开支，公司一直在实施湿法制程设备的产能扩充计划，目前已达到年产150台左右。产能扩充主要受制于零部件供应链，部分进口零部件供应链在日韩，受日韩零部件厂商的产能等因素影响，公司目前需针对这部分零部件进行提前备货，同时在国内积极寻找符合工艺要求的零部件替代厂商。
（文章来源：界面新闻）
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