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证券时报e公司讯，据必联网发布的中标结果公告显示，3月7日，万业企业旗下嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)中标特色工艺生产线建设招标项目。据资料显示，自2022下半年开始，万业企业旗下嘉芯半导体多次中标多款设备，包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机等。
（文章来源：证券时报·e公司）
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环球热头条丨万业企业旗下嘉芯成功中标特色工艺线项目
2023-03-08 11:11:59
来源：证券时报·e公司
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